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互创芯微取得电容薄膜真空规检测装置专利提高工作环境整洁度
【陕西日报】报道西安交大电气工程学院陈玉教授团队
合肥先进光源国家重大科技基础设施项目-前端区真空规计(第二次
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上海科技大学硬X射线自由电子激光装置-线)
青海聚能钛业取得用于真空规线路的转换装置专利降低采购成本和周
章阁仪器取得真空测量组件及半导体处理设备专利更换真空规时节省
拓荆创益申请前级管路的压力检测装置及薄膜沉积设备专利提高了真